Sensor de pressão do motor 2CP3-68 1946725 para escavadeira Carter

Método para preparar um sensor de pressão, caracterizado por compreender as seguintes etapas:

S1, proporcionando um wafer com uma superfície traseira e uma superfície frontal;Formando uma tira piezoresistiva e uma área de contato fortemente dopada na superfície frontal do wafer;Formando uma cavidade profunda de pressão gravando a superfície posterior do wafer;

S2, colando uma folha de suporte no verso do wafer;

S3, fabricando furos de chumbo e fios metálicos na parte frontal do wafer e conectando tiras piezoresistivas para formar uma ponte de Wheatstone;

S4, depositando e formando uma camada de passivação na superfície frontal do wafer e abrindo parte da camada de passivação para formar uma área de almofada metálica.2. Método de fabricação do sensor de pressão, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que S1 compreende especificamente as seguintes etapas: S11: fornecer um wafer com uma superfície traseira e uma superfície frontal e definir a espessura de uma película sensível à pressão no wafer;S12: a implantação iônica é usada na superfície frontal do wafer, as tiras piezoresistivas são fabricadas por um processo de difusão em alta temperatura e as regiões de contato são fortemente dopadas;S13: depositar e formar uma camada protetora na superfície frontal do wafer;S14: gravando e formando uma cavidade profunda de pressão na parte de trás do wafer para formar um filme sensível à pressão.3. Método de fabricação do sensor de pressão, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que o wafer é SOI.

Em 1962, Tufte et al.fabricou pela primeira vez um sensor de pressão piezoresistivo com tiras piezoresistivas de silício difuso e estrutura de filme de silício, e iniciou a pesquisa em sensor de pressão piezoresistivo.No final da década de 1960 e início da década de 1970, o aparecimento de três tecnologias, nomeadamente, tecnologia de gravação anisotrópica de silício, tecnologia de implantação iónica e tecnologia de ligação anódica, trouxe grandes mudanças ao sensor de pressão, que desempenhou um papel importante na melhoria do desempenho do sensor de pressão. .Desde 1980, com o desenvolvimento da tecnologia de microusinagem, como gravação anisotrópica, litografia, dopagem por difusão, implantação iônica, ligação e revestimento, o tamanho do sensor de pressão tem sido continuamente reduzido, a sensibilidade foi melhorada e a saída é alta e o desempenho é excelente.Ao mesmo tempo, o desenvolvimento e a aplicação de novas tecnologias de microusinagem tornam a espessura do filme do sensor de pressão controlada com precisão.