O sensor de pressão semicondutores comumente usado usa a bolacha de silício do tipo n como substrato. Em primeiro lugar, a bolacha de silício é transformada em uma parte elástica do estresse com uma certa geometria. Na parte do estresse da bolacha de silício, quatro resistores de difusão do tipo P são feitos ao longo de diferentes direções de cristal e, em seguida, uma ponte de trigo de quatro braços é formada com esses quatro resistores. Sob a ação da força externa, as mudanças dos valores de resistência se tornam sinais elétricos. Esta ponte de wheatstone com efeito de pressão é o coração do sensor de pressão, que geralmente é chamado de ponte piezoresistiva (como mostrado na Figura 1). As características da ponte piezoresistiva são as seguintes: ① Os valores de resistência dos quatro braços da ponte são iguais (todos R0); ② O efeito piezoresistivo dos braços adjacentes da ponte é igual em valor e oposto no sinal; ③ O coeficiente de temperatura de resistência dos quatro braços da ponte é o mesmo e eles estão sempre na mesma temperatura. Na fig. 1, R0 é o valor de resistência sem estresse à temperatura ambiente; RT é a mudança causada pelo coeficiente de temperatura da resistência (α) quando a temperatura muda; Rδ é a mudança de resistência causada pela tensão (ε); A tensão de saída da ponte é U = i0 Δ rδ = i0rgδ (ponte de fonte de corrente constante).

Onde i0 é a corrente de fonte de corrente constante e E é a tensão da fonte de tensão constante. A tensão de saída da ponte piezoresistiva é diretamente proporcional à tensão (ε) e não tem nada a ver com a TR causada pelo coeficiente de temperatura de resistência, o que reduz bastante o desvio da temperatura do sensor. O sensor de pressão semicondutores mais utilizado é um sensor para detectar pressão do fluido. Sua estrutura principal é uma cápsula feita de silício monocristalino (como mostrado na Figura 2). O diafragma é transformado em um copo e o fundo do copo é a parte que leva a força externa e a ponte de pressão é feita no fundo do copo. O pedestal do anel é feito do mesmo material de cristal único de silício e, em seguida, o diafragma é ligado ao pedestal. Esse tipo de sensor de pressão tem as vantagens de alta sensibilidade, pequeno volume e solidez e tem sido amplamente utilizado em aviação, navegação espacial, instrumentos de automação e instrumentos médicos.