O sensor de pressão semicondutor comumente usado usa wafer de silício tipo N como substrato.Em primeiro lugar, a pastilha de silício é transformada em uma peça elástica que suporta tensões com uma determinada geometria.Na parte de suporte de tensão do wafer de silício, quatro resistores de difusão do tipo P são feitos ao longo de diferentes direções do cristal e, em seguida, uma ponte de Wheatstone de quatro braços é formada com esses quatro resistores.Sob a ação de uma força externa, as alterações nos valores de resistência tornam-se sinais elétricos.Esta ponte de wheatstone com efeito de pressão é o coração do sensor de pressão, que geralmente é chamada de ponte piezoresistiva (conforme mostrado na Figura 1).As características da ponte piezoresistiva são as seguintes: ① os valores de resistência dos quatro braços da ponte são iguais (todos r0);② O efeito piezoresistivo dos braços adjacentes da ponte é igual em valor e oposto em sinal;③ O coeficiente de temperatura de resistência dos quatro braços da ponte é o mesmo e estão sempre na mesma temperatura.Na fig.1, R0 é o valor da resistência sem tensão à temperatura ambiente;RT é a mudança causada pelo coeficiente de resistência da temperatura (α) quando a temperatura muda;Υ Rδ é a mudança de resistência causada pela deformação (ε);A tensão de saída da ponte é u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (ponte de fonte de corrente constante).

Onde I0 é a corrente da fonte de corrente constante e e é a tensão da fonte de tensão constante.A tensão de saída da ponte piezoresistiva é diretamente proporcional à deformação (ε) e não tem nada a ver com RT causado pelo coeficiente de resistência de temperatura, o que reduz bastante o desvio de temperatura do sensor.O sensor de pressão semicondutor mais utilizado é um sensor para detectar pressão de fluido.Sua estrutura principal é uma cápsula feita de silício monocristalino (conforme mostrado na Figura 2).O diafragma é feito em forma de copo, e o fundo do copo é a parte que suporta a força externa, e a ponte de pressão é feita no fundo do copo.O pedestal do anel é feito do mesmo material de cristal único de silício e, em seguida, o diafragma é colado ao pedestal.Este tipo de sensor de pressão tem as vantagens de alta sensibilidade, pequeno volume e solidez, e tem sido amplamente utilizado na aviação, navegação espacial, instrumentos de automação e instrumentos médicos.